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定製CVD係統

定製CVD係統

定製CVD係統

產品概述: 該係統以矽碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控矽控製,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料

產品概述:
    該定製CVD係統是以矽碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控矽控製,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不鏽鋼法蘭密封,不鏽鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表麵溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
技術參數:

產品名稱

定製CVD係統

產品型號

PT-CVD-DZ

立式管式爐

爐膛模式

立式開啟式

爐膛材料

進口氧化鋁耐火纖維

加熱元件

優質矽碳棒

極限溫度

1400℃

工作溫度

≤1300℃

升溫速率

≤20℃(建議:15℃/min)

加熱溫區

單溫區、多溫區

溫區總長度

200、300、440

爐管材質

高純石英管、剛玉管

爐管直徑

40、50、60、80、100mm......

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭一套(含密封矽膠圈)  

控製模式

多段智能PID程序控溫  預留通訊接口

控溫精度

±1℃

溫度曲線

多段"時間—溫度曲線"任意可設

測溫元件

K型熱電偶

氣路係統

工作電壓

220V/50HZ

最大輸出功率

18W

工作溫度

5--45℃

氣體通道

可同時連接多種氣源

流 量 計

質量流量計

A路量程  

0~500SCCM

B路量程 

0~500SCCM

C路量程  

0~500SCCM

.....

 .....

氣路壓力

-0.1~0.15 MPa

截止閥

不鏽鋼材質

氣體連接管

1/4不鏽鋼管

數顯真空計及連接件

數顯真空計  

數顯真空計安裝在不鏽鋼法蘭上

      真空泵組(相關連接配件)

真空泵

真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ

認證

ISO認證、CE認證

售後服務

質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬於質保範圍)

定製cvd係統
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