高溫PECVD係統（等離子增強化學氣相沉積），由RF等離子源，管式爐，帶氣體混合罐的多通道氣體流量計和高質量的機械泵組成。PECVD設備是理想並且價格合理的工具，用於沉積薄膜或將納米線從氣態（蒸氣）生長到固態。
產品特點：
1.可用於1200°C，1400°C，1600°C的工作溫度
2.熱區長度，單區300、400或440毫米
3.PID自動控製
標準配件：
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質子流量計×1 |
真空係統×1 | 射頻電源×1 |
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| 氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
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| 高溫手套×1 | 坩堝鉗×1 | 熱電偶×1 |
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| 剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |
技術參數：
| 高溫PECVD係統 | |
| 加熱區長度 | 440mm(更多規格可按照客戶要求定製) |
| 正常工作溫度 | 1100℃(可選) |
| 最高溫度 | 1200℃（最高可選1600℃） |
| 溫控精度 | ±1℃（具有超溫及斷偶報警功能） |
| 控溫方式 | 智能化30段可編程控製（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
| 真空係統 | |
| 高真空分子泵組，高真空複合真空計 前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25係列波紋管和真空擋板閥連接 | |
| 質子流量計 | |
| 高精度質量流量計可準確的控製氣體流量 氣體流量範圍為0-500ＳＣＣｍ 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內置氣體混氣係統， 不鏽鋼針閥計管道，標準雙卡套接頭 | |
| 射頻電源係統 | |
| 輸出功率 | 50-500W最大可調±1% |
| RF頻率 | 13.56MHz，穩定性±0.005% |
| 冷卻 | 風冷 |
| 輸入功率 | 1KW AC 220V |
| 電氣認證 | CE認證 |
| 售後服務 | 12個月質保、終身保修 |
