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高溫PECVD係統

高溫PECVD係統

高溫PECVD係統

高溫PECVD係統(等離子增強化學氣相沉積),由RF等離子源,管式爐,帶氣體混合罐的多通道氣體流量計和高質量的機械泵組成。

產品概述:

高溫PECVD係統(等離子增強化學氣相沉積),由RF等離子源,管式爐,帶氣體混合罐的多通道氣體流量計和高質量的機械泵組成。PECVD設備是理想並且價格合理的工具,用於沉積薄膜或將納米線從氣態(蒸氣)生長到固態。


產品特點:

1.可用於1200°C,1400°C,1600°C的工作溫度

2.熱區長度,單區300、400或440毫米 

3.PID自動控製
 

標準配件:

4路質子流量計 真空係統 射頻電源

質子流量計×1

真空係統×1 射頻電源×1
氣煉石英爐管 真空法蘭 熱電偶
氣煉石英爐管×1 真空法蘭×1 防燙罩×2
高溫手套 坩堝鉤 熱電偶
高溫手套×1 坩堝鉗×1 熱電偶×1
剛玉坩堝 爐塞 馬弗爐中文說明書
剛玉坩堝×2 爐塞×2 中文說明書×1

技術參數:

高溫PECVD係統
加熱區長度 440mm(更多規格可按照客戶要求定製)
正常工作溫度 1100℃(可選)
最高溫度 1200℃(最高可選1600℃)
溫控精度 ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)
控溫方式 智能化30段可編程控製(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)
真空係統
高真空分子泵組,高真空複合真空計 前級泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25係列波紋管和真空擋板閥連接
質子流量計
高精度質量流量計可準確的控製氣體流量 氣體流量範圍為0-500SCCm 誤差為0.02% 出氣真空壓力表,內置氣體混氣係統, 不鏽鋼針閥計管道,標準雙卡套接頭
射頻電源係統
輸出功率 50-500W最大可調±1%
RF頻率 13.56MHz,穩定性±0.005%
冷卻 風冷
輸入功率 1KW AC 220V
電氣認證 CE認證
售後服務 12個月質保、終身保修
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