化學氣相沉積設備由2或3.14O.D可選分流管爐，帶氣體混合罐的4通道精密質量流量計和高質量機械泵組成。
這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐是沉積薄膜或將納米線從氣態（蒸氣）變成固態的理想且價格合理的工具，其優點是：
1.與常規CVD相比，溫度處理更低。
2.膜應力可以通過高頻/低頻混合技術來控製。
3.通過工藝條件控製化學計量。
4.提供廣泛的材料沉積，包括SiOx，SiNx，SiOxNy和非晶矽（a-Si：H）沉積。
1.爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維，有效隔熱 ，節能；
2.進口加熱元件，大大提高其使用壽命，高密度進口氧化鋁管子，經久耐用，不易折斷；
3.預留真空，氣路快速接口，可配合小优茄子视频app的真空係統或混合係統使用；
4.超溫報警及停電，漏電保護，運行安全可靠。
5.根據您的要求提供智能的空氣泄漏測試儀/氣體泄漏報警係統。
化學氣相沉積應用：
這款化學氣相沉積金剛石機器CVD爐廣泛用於1200℃下各種CVD實驗反應溫度，也可用於真空燒結，真空保護氣氛燒結納米材料製備，電池材料製備等研究領域。
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分體式爐
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輸入功率：208 – 240V AC，1.2kW
最高1700°C 工作溫度<60分鍾
最高1600°C連續加熱
高純度石英管2“ OD x 1.7” ID x 39.4“長度
30段可編程精密數字溫度控製器 8英寸（200毫米），單個區域。2.3英寸（60毫米） |
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溫度計
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30段PID自動智能溫度控製
溫度精度可達uo +/- 1C
溫升迅速冷卻空冷或水冷係統 |
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真空法蘭和配件
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真空法蘭套件由304不鏽鋼製成。
左法蘭組件包括一個KF-25真空端口，兩個KF-25 快速夾緊。
一個KF-25直角閥，一個KF-25真空波紋管，一個法蘭 支持1/4 OD 軟管接頭和針形閥。
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真空泵
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交流220V 50 Hz 1 / 2HP 375W
2升/ S或120升/米
已安裝集油器（入口）和排氣過濾器（出口）。 |
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保證 |
一年有限保修，提供技術支持 |
