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四路高溫真空CVD塗層設備

四路高溫真空CVD塗層設備

四路高溫真空CVD塗層設備

四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空係統+供氣係統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣係統是流量調節可以是質子流量計

產品概述:

        四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空係統+供氣係統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣係統是流量調節可以是質子流量計,可以對多種氣體進行精確的混氣,然後導入到管式爐內部。 KJ-T1200-S60K-4C係列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然後移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱後移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

適用範圍:

       四路高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD係統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD塗層、真空退火用的理想產品。

標準配件:

氣煉石英爐管

4路質子流量計

熱電偶

氣煉石英爐管×1

浮子混氣係統×1

真空係統×1

高溫手套

坩堝鉤

熱電偶

高溫手套×1

坩堝鉗×1

熱電偶×1

剛玉坩堝

爐塞

馬弗爐中文說明書

剛玉坩堝×2

爐塞×2

中文說明書×1

注:爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型

 

產品名稱

四路高溫真空CVD設備

產品型號  

PT-T1200-S60K-4C

工作溫度         

1100℃(可選)

最高溫度

1200℃(最高可選1700℃)

加熱  區

三溫區(可定製)

加熱區長度                          

200+350+200mm(可根據需求定製)

加熱速率

建議:0- 10°C/min {最大:0-20℃/min}

溫控精度

±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表麵塗有氧化鋯塗層,使其最大程度延長使用壽命)

加熱速率

0~20 ℃ / 分

工作電壓                       

220V,50HZ,單相

功         率

4KW

控溫方式

智能化30段可編程控製(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

質子流量計  

4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控製。 MFC 1範圍: 0~100 sccm MFC 2範圍: 0~200 sccm MFC 3範圍: 0~200 sccm MFC 4範圍: 0~500 sccm 。
 氣路:4路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個混氣罐。 每路氣路都有一個獨立的不鏽鋼針閥控製。 通過控製麵板上的旋鈕來調節氣體流量。

電氣認證

CE認證

售後服務

12個月質保、終身保修

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