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液晶觸摸屏三溫區管式爐

液晶觸摸屏三溫區管式爐

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小优茄子视频appPT-T1200型號是具有80mm直徑氧化鋁管、真空泵和三通道質量流量計氣體流動係統的管式爐。它可以混合1-3種氣體用於CVD或擴散。

產品概述:
     PT-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動係統的管式爐。它可以混合1-3種氣體用於CVD或擴散。 
技術參數:

型號 

帶有3個MFC氣體通道的 PT-T1200 CVD

顯示

發光二極管

最高溫度

1200℃短時間

連續工作溫度

≤1100℃

加熱速率

建議:0〜10℃/ min

溫度區

220毫米+220毫米+220毫米

加熱元件

鉬電阻絲

熱電偶

K型

溫度控製精度

±1℃

管尺寸

80x1200mm(外徑x長)

管座

包括兩個纖維狀陶瓷塊,用於阻止管子內部的熱輻射(在加熱之前,陶瓷塊必須完全插入爐膛中)。

溫度控製

通過SCR功率控製進行PID自動控製

程序和斜坡

30步可編程

真空法蘭

帶閥的不鏽鋼真空法蘭

法蘭

功率

220V,50 Hz,單相最大6KW

質量流量計

三種精密質量流量計:

MFC 1:氣體流量範圍為0〜100 sccm

MFC 2:氣體流量範圍為0〜200 sccm

MFC 3:氣體流量範圍為0〜200 sccm

(氣體流量範圍可根據您的要求)

底殼上裝有一個氣體混合罐,底殼左側裝有3個不鏽鋼針閥,以手動控製3種氣體的混合

下麵的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個顯示器

質量流量計


觸摸屏管式爐
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